Главная задача распределительной системы заключается в том, чтобы доставить газ от сервисной площадки к технологическому оборудованию без ухудшения его качества. Такие компоненты системы, как трубы и вентили, не должны привносить частицы в газовый поток и должны быть защищены от проникновения загрязнений извне. Система должна быть разработана таким образом, чтобы свести к минимуму возможность возникновения застойных зон, учитывать потерю давления в трубопроводе и обеспечивать требуемую скорость газового потока.
Материалом, который практически всегда применяют, чтобы не только удовлетворить этим критериям, но также обеспечить механическую прочность и коррозионную стойкость, является нержавеющая сталь марки 316L.Дополнительным требованием, действующим в настоящее время, является то, что любые части трубопроводов, вентили или другая арматура, контактирующие с газом, должны быть электрополированы и иметь обработку поверхности лучше, чем Ra 0,40.
Электрополировка Электрополировка - это избирательный процесс электрохимического удаления металла, включающий макро- и микрополирование (макрополирование -это удаление с поверхности следов эрозии, трещин, царапин, посторонних включений, шероховатости, в то время как микрополирование - это удаление очень маленьких неровностей поверхности).
При правильном сочетания состава электролита, тока/напряжения и температуры раствора участки с крупной шероховатостью или области, имеющие высокие плотности дефектов, селективно удаляются с большей скоростью, чем остальная поверхность.
При прохождении тока низкого напряжения через протекающий химический раствор одновременно может проводиться макро- и микрополировка, что позволяет создать максимально гладкую полированную поверхность. Одним из дополнительных преимуществ этого процесса является то, что, поскольку он анодный по природе, из раствора освобождается кислород, который стремится пассивировать поверхность стали, образуя на ней относительно инертную поверхностную пленку.
После электрополировки любые остатки химических веществ должны быть удалены промывкой в деионизованной воде. При использовании для этих целей обычной водопроводной воды некоторые остатки травления могут не удалиться, образуя пятна на поверхности. Поэтому важно, чтобы потенциальный покупатель «чистого» трубопровода проверил, имеет ли его поставщик небольшое производство деионизованной воды для упомянутой выше цели.
Производственным методом, применяемым для соединения компонентов из нержавеющей стали между собой, является орбитальная сварка в инертной атмосфере высокочистого аргона. Параметры каждого сварного шва могут строго контролироваться и быть документированы, чтобы добиться получения герметичных, гладких и не содержащих примесей швов. Особое внимание должно быть уделено всем стадиям производства, чтобы исключить загрязнения, которые может быть трудно или вообще невозможно удалить после сборки системы. Действие этого принципа должно распространяются везде - от упаковки, контроля, очистки и осушки до самой процедуры сварки; большая часть этих операций должна выполняться в условиях чистых помещений.
Posts Tagged ‘загрязнения’
Сборка узлов
Сборка узлов должна производиться или в чистом помещении, или в помещении с зонами однонаправленного воздушного потока, чтобы обеспечить чистоту воздушной среды в области открытого конца трубы. Следует стремиться обеспечить условия, соответствующие классу 10 ООО или более высокому уровню чистоты. Вне чистой воздушной среды все открытые концы деталей должны быть закрыты. Персонал, работающий внутри чистого помещения, должен носить специальную технологическую одежду и обувь и, кроме того, использовать непылящие защитные перчатки при работе с материалами и компонентами системы. Основная идея, которая должна быть принята для этой части работы, заключается в том, что «намного проще сохранить внутренние поверхности чистыми, чем очистить их, когда они загрязнены».
(b) Общая сборка
Все открытые концы сборочных единиц должны быть закрыты и загерметизированы в пластиковую упаковку вплоть до ее вскрытия на участке, где все элементы должны быть соединены с основной системой. Этот участок должен поддерживаться в условиях максимально возможного уровня чистоты, чтобы свести к минимуму возможные загрязнения. В некоторых случаях (если сварка компонентов проводится на месте) можно использовать портативную установку очистки воздуха с НЕРА-фильтрами. Однако ограничение по габаритам и близость к другим технологическим трубопроводам большого диаметра могут препятствовать ее применению для многих конструкций.
При проведении любых сварочных работ должна поддерживаться необходимая скорость подачи чистой среды в течение достаточного времени, чтобы гарантировать отсутствие застойных зон около участка сварки. Чтобы определить это время, может быть полезным применение портативного анализатора кислорода.
Контроль Испытания качества монтажа системы должны проводиться тремя способами: 1. В идеальном случае должен быть проведен рентгеновский контроль всех сварных швов, чтобы подтвердить соответствие качества работ техническим требованиям на установку. Если 100%-ный контроль не осуществляется (возможно, по финансовым причинам), то, вероятно, самым эффективным способом является контроль 10% швов. В случае обнаружения дефектного шва должна быть проверена документация для всех швов, чтобы определить, имеется ли какой-либо общий фактор в найденных дефектных швах. Дефекты могут быть следствием плохого соблюдения протокола чистоты при сборке или могут быть связаны с тем, что сварку проводили в месте, где соблюдение требований чистоты было трудно контролировать. Возможной причиной могут быть сбои в подаче жидкого аргона в определенном промежутке времени, неудовлетворительная работа сварочной машины или даже индивидуальное мастерство сварщика. Эти отклонения, в определенной степени, могут быть сведены к минимуму путем проведения контрольных сварок через определенные, строго соблюдаемые промежутки времени (как минимум в начале и в конце выполнения каждой стадии работ) с проведением проверки до дальнейшего продолжения работы. Любые подозрительные сварные швы должны быть удалены и заменены. Договор на выполнение работ должен быть составлен так, чтобы отражать это требование и, соответственно, гарантировать, что финансовую ответственность за издержки вследствие таких ошибок несет монтажная организация.
2. Система должна быть испытана на герметичность компонентов и сварных швов путем заполнения системы аргоном под давлением, в 1,5 раза превышающем рабочее, и наблюдения за падением гермошмпенсированного давления в течение более 24 часов. Если это испытание прошло успешно, систему проверяют на утечки в каждом сварном шве с помощью гелиевого течеискателя.
3. Третий вид испытаний позволяет подтвердить, что смонтированная система свободна от загрязнений. Это делают после продувки системы (во время которой удаляют оставшиеся мельчайшие загрязнения) путем пропускания через систему инертного газа высокой чистоты с одновременным контролем содержания влаги, кислорода, углеводородов и частиц на входе и выходе из системы, проверяя таким образом целостность системы и качество ее сборки (монтажа).
Настоящая глава посвящена выбору материалов для изготовления технологических трубопроводов высокочистой воды. Она состоит из двух главных разделов. В первом представлен обзор материалов, которые предпочтительно используются при создании установок очистки воды. Второй раздел касается специальных компонентов трубопроводов, применяемых в системах транспортировки воды, начиная от воды водопроводной до высокочистой. Не оставлены без внимания и материалы трубопроводов, предназначенных для транспортировки кислот и газов.
Существует большое разнообразие материалов, которые отвечают требованиям изготовления трубопроводов и сопутствующего оборудования. Сюда входит широкий спектр металлов, начиная от углеродистой стали до экзотических сплавов, например, самых современных нержавеющих сталей, сплавы на основе никеля и титана, а также большой ассортимент полимеров, начиная от самого элементарного полиэтилена до дорогих фторполимеров.
В настоящей главе наиболее пристальное внимание будет уделено таким основным аспектам проблемы выбора материалов для трубопроводов, как:
• Доступность в требуемом виде и сортаменте;
• Способность к соединению;
• Стоимость;
• Коррозионная стойкость или стойкость к деструкции.
Последнее требование является критическим: (а) поскольку, по очевидным причинам, оно определяет срок службы и надежность систем транспортировки и (б) коррозионное разрушение является главным источником загрязнения высокочистой воды продуктами коррозии. Еще одна возникающая при этом проблема заключается в том, что высокочистая вода может являться агрессивной средой для многих материалов.
По мере того, как вода проходит через последовательные стадии сложного процесса очистки, которые представляют собой современную систему получения высокочистой воды, происходит увеличение ее стоимости. Кроме того, она становится все более и более восприимчивой к загрязнениям продуктами коррозии и деструкции, протекающими с умеренными (или даже малыми) скоростями. Поэтому материалы для изготовления трубопроводов с наиболее высокими эксплуатационными качествами становятся более востребованными, чем в случаях, рассмотренных в предыдущем разделе. Вообще говоря, углеродистая сталь или чугун не должны быть приоритетными для рассмотрения, хотя иногда трубопроводы из таких материалов могут найти применение в сочетании с ионообменными смолами или угольными фильтрами, расположенными на выходе из системы. В подобных случаях стальные трубопроводы и стальные емкости, включая многоцелевые фильтры со слоями активированного угля, а также некоторые ионообменные колонки могут быть футерованы резиной. При выборе материалов для изготовления основной части трубопроводов, используемых для описываемых целей, преимущество следует отдавать полимерам, например таким, как ПВХ непластифицированный, акри-лонитрилбутадиенстирол, ПП или стеклопластик. Существует много примеров использования двух первых материалов из этого ряда в системах получения высокочистой воды, по крайней мере, до финишного ионообменника со смешанным слоем.
Однако в местах, где требуется повышенная прочность, необходимо использовать металлические трубы. Одним из примеров являются стенки корпуса установки высокого давления обратного осмоса, где, как правило, используется нержавеющая сталь 316L, характеризующаяся высокой прочностью и хорошей коррозионной стойкостью, присущей этому типу сталей. И все-таки эта марка стали не всегда представляет собой оптимальный вариант, поскольку критическим параметром часто является стойкость к пит-тингу (точечной коррозии) и щелевой коррозии. Последний тип коррозии является наиболее вероятным в местах соединения (например, разборных уплотнительных колец с ручной затяжкой) труб между собой или с насосом, а также с ячейкой обратного осмоса, но может протекать и в местах дефектов сварки.
Для данной марки нержавеющей стали преобладание точечной или щелевой коррозии возрастает с увеличением общего содержания растворенных в воде твердых веществ (и особенно с увеличением концентрации хлоридов), а ее устойчивость к таким локализованным формам коррозии возрастает с увеличением содержания в стали хрома и молибдена. Практика показывает, что сталь марки 316 (а, следовательно, и 316L) является подходящей для всех случаев, кроме воды с очень высоким содержанием хлоридов. Если концентрация хлоридов приближается к их концентрации в морской воде, то даже сталь марки UNS NO.8904 эксплуатируется на пределе своих возможностей, и в этих случаях необходимо применять материал, подобный стали марки UNS S31254 (20Cr/18Ni/6Mo). С другой стороны, если на очистку поступает вода с низким общим солесодержанием (TDS), то марка нержавеющей стали 304 (или 304L) может быть приемлема для использования.
Долговечность и устойчивость к внешним условиям наряду с требованием непроницаемости по отношению к газам из окружающей среды являются главными факторами при выборе материала труб для транспортировки высокочистой воды к зачастую удаленным точкам ее использования. Однако первостепенное значение имеет предотвращение загрязнения воды растворимыми органическими или неорганическими веществами, а также локальными очагами генерации частиц. Ключевым моментом в этом отношении является полярная природа молекулы воды, которая придает воде (в особенности чистой) свойства сильного растворителя, в частности, в отношении ионных веществ. Поэтому выбор материалов для труб остается довольно ограниченным, даже когда речь идет о металлических или полимерных материалах с самым высоким качеством, трубы из которых должны иметь очень гладкую непористую внутреннюю поверхность для минимизации адсорбции и выделения частиц, а также участков роста и размножения бактерий. Сохранение гладких поверхностей и предотвращение образования трещин является предметом особой заботы в местах соединения труб.
Материалы труб или соединительных элементов, которые содержат потенциально выщелачиваемые добавки, примеси, пигменты, модификаторы, стабилизаторы, клеи, растворители, герметики или смазочные материалы должны всегда быть объектом пристального внимания. Считается, что пластификаторы служат питательным веществом для роста бактерий.
Хотя ПВХ и акрилонитрилбутадиенстирол использовались раньше для транспортировки очищенной воды, сейчас существуют возражения для применения этих материалов на критических участках, где требуется очень высокая чистота. Известно, что ПВХ выделяет органические соединения (и даже иногда металлические), наличие которых в полимере обусловлено процессом его производства, а акрилонитрилбутадиенстирол может выделять стирол, поэтому соединения трубопроводов, выполненных из обоих материалов методом холодной сварки, могут стать источниками загрязнений. ПП, например, содержит в качестве добавок антиоксиданты или другие вещества, являющиеся вспомогательными в процессе синтеза полимера и которые потенциально являются загрязнителями.
Незначительная коррозия металлических труб может лишить получаемую воду требуемых качеств, и этот факт ставит под сомнение применение труб из металлических сплавов, например таких, как медь/никель, несмотря на промежуточное положение, которое они занимают по ценам среди других материалов. Чтобы сохранить высокое качество, присущее продукту, в настоящее время для новых систем трубопроводов общепринято применять более дорогие материалы, которые характеризуются высокими эксплуатационными свойствами, например нержавеющую сталь и фторопласты. В этом отношении нержавеющая сталь марки 316 (особенно, если она предварительно подвергнута пассивации с целью образования на поверхности защитной пленки окиси хрома) может быть подходящей для многих целей, и ее все еще предпочитают использовать в системах получения чистой воды в фармацевтической промышленности (частично потому, что она хорошо ведет себя при стерилизации паром). Однако система трубопроводов из нее менее удобна для сборки и разборки, чем такая же система из полимеров, и этот фактор также может сократить разрыв между окончательной стоимостью систем из нержавеющей стали по сравнению с системой, выполненной из ПВДФ.
Хотя в прошлом использовался ПВХ, а сейчас все чаще в ходу ПВДФ, главным материалом для трубопроводов высокочистой воды в фармацевтической промышленности остается нержавеющая сталь. Поскольку известны редкие случаи коррозии нержавеющей стали (см. ранее), то вероятна и возможность загрязнения медицинских продуктов Fe, Сг, Ni и т. п. продуктами. По-видимому, такие случаи являются следствием нарушения производственного процесса. Соображения, которые объясняют столь устойчивую традицию выбора нержавеющей стали для изготовления трубопроводов в фармацевтической промышленности, основаны на уверенности в ее поведении при эксплуатации и сомнении в том, что при транспортировке чистой воды при высоких температурах ПВДФ способен сохранить свою стабильность в течение длительного времени.
Что касается выбора подходящей марки нержавеющей стали, то он, как правило, ограничивается выбором между марками 304 и 316, причем последняя обычно более популярна благодаря большей стойкости к питтинговой и щелевой коррозии. Там, где есть сварные соединения, экономным и благоразумным является выбор либо низкоуглеродистой стали марки L, либо разновидностей нержавеющей стали, содержащих добавки Ti/Nb (см. изложенное ранее). К тому же для внутренней поверхности таких труб часто задается требование по электрополировке.
Нержавеющая сталь, ко всему прочему, широко применяется в фармацевтической промышленности и для накопителей - хранилищ очищенной воды, особенно часто для хранилищ горячей (+80°С) воды. Сталь марки 316L иногда предварительно пассивируется, и для этого назначения именно такой вариант является предпочтительным.
Системы подготовки воды
для микроэлектронной промышленности
Хотя случаи использования нержавеющей стали или очень дорогого полимера, например, полиэфирэфиркетона не являются редкостью, последнее время наблюдается явная тенденция применения в системах распределения воды конечной стадии очистки фторполимеров, особенно ПВДФ.
Вопреки относительно высокой его стоимости, ПВДФ является фактически одним из самых дешевых из доступных фторполимеров, чрезвычайно инертным и выпускается в промышленных масштабах и сортаментах. Он может соединяться довольно легко непосредственно путем сплавления без участия растворителя. Обычные трубопроводы из ПВДФ используются на участках, начиная от фильтров смешанного действия и далее. Другие подобные материалы, например, сополимер тетрафторэтилена с перфторалкилперфторвиниловыми эфирами и этилен-хлортрифторэтилен могут применяться, в частности, в качестве фитингов. Первоначальный переход от использования таких традиционных полимеров, как ПВХ, акрилонитрилбутадиенстирол и ПП в сторону ПВДФ был обусловлен экспериментальными данными, полученными в результате изучения относительных скоростей выщелачивания из материалов, выступающих в роли кандидатов для этих целей. Более информативными из этих экспериментов оказались те, которые получены в результате измерения следов веществ исследуемых образцов в реальных условиях транспортировки воды, по сравнению с экспериментами, проведенными в статическом состоянии, заключающимися в выдержке проб в фиксированном количестве воды. Некоторые современные работы по исследованию выщелачивания и других свойств поверхностей трубопроводов, например, склонности к обрастанию, проводили с целью сравнения свойств разных фторполимеров, например, ПВДФ, сополимера тетрафторэтилена с перфторалкилперфторвиниловыми эфирами и этилен-трифторэтилена. Разные исследования иногда показывают отсутствие явного преимущества других фторполимеров по отношению к ПВДФ. Все же общие характеристики ПВДФ, в смысле механической прочности, способности к обработке, стоимости и срока эксплуатации, послужили причиной того, что ПВДФ является наиболее широко распространенным материалом в системах транспортировки высокочистой воды.
Если речь идет о сложных и больших системах трубопроводов, следует избегать применения чрезмерно дорогих материалов, таких как ПВДФ. Для этих случаев альтернативой ПВДФ становится использование акрилонитрилбутадиенстирола или ПВХ (материалов, которые хорошо зарекомендовали себя в эксплуатации, как в прошлом, так и сейчас) в сочетании с конечными фильтрами, если требуется устранить какие-либо органические примеси.
В процессе производства интегральных схем полупроводниковые пластины требуют обработки различными кислотами, такими как серная, фтористоводородная, дымящая азотная и соляная кислота. Другой агрессивной жидкостью, с которой приходится иметь дело, является перекись водорода. Критическое требование, на основе которого производят выбор труб для таких жидкостей - предотвращение коррозии или деструкции труб. Оно выдвигается с целью обеспечения адекватной надежности системы и по соображениям безопасности. Марки полимеров менее качественных сортов, например, ПП, ПЭ, ПВХ и акрилонитрилбутадиенстирол обычно не годятся для эксплуатации в контакте со многими концентрированными кислотами. Хотя нержавеющая сталь типа 316 или более качественных марок (например, 20Cr/18Ni/6Mo) может эксплуатироваться в условиях контакта с серной кислотой и перекисью водорода, она не годится для работы с соляной и фтористоводородной кислотами. Следовательно, можно отметить, что в общем наблюдается тенденция выбора высококачественных марок полимеров, например, ПТФЭ и ПВДФ, для использования в условиях работы с кислотами, но сополимер тетрафторэтилена с перфторалкилперфторвиниловыми эфирами, по некоторым данным, особенно предпочтителен.Технологические трубопроводы для этих целей подробно описаны в главе 12 этой книги, поэтому здесь будет сделано только несколько обобщающих замечаний и наблюдений.С точки зрения старения и окисления металлических трубопроводов, они не должны создавать проблем, поскольку сухие газы оказывают разрушающее воздействие на металлы только при значительных скоростях потока и повышенных температурах (в несколько сотен градусов Цельсия). Главным критерием при выборе материала трубопроводов для газов является предотвращение загрязнения высокочистых газов при их прохождении по трубам, и это требование исключает применение полимеров из-за их частичной воздухопроницаемости.
Что касается медных трубопроводов, которые в прошлом использовались во многих случаях вместе с латунными фитингами, то им присущ один потенциальный источник загрязнения - осадок флюса, используемого при сварке, который не подвержен эффективному удалению без того, чтобы не оставить вместо себя другие загрязняющие вещества.
Следовательно, в настоящее время для современных систем трубопроводов преобладает тенденция выбора нержавеющей стали (такой как 316) с внутренней поверхностью, подвергнутой тщательной, доскональной поверхностной обработке, включающей эяектрополировку. Хотя применение элеетрополировки внутренних каналов трубопроводов является довольно распространенной технологией для многих деталей, она требует специального оборудования и квалификации, поэтому является дорогостоящим процессом. Сейчас электрополированные детали для систем распределения высокочистых газов из нержавеющей стали, включая трубопроводную арматуру и фитинги, выпускаются промышленностью.
Первым из критериев, которые должны быть рассмотрены в процессе выбора, является способность поставщика производить газ, качество которого соответствует требованиям процесса. В Великобритании основные компании-поставщики газа способны решить эту задачу созданием производства на месте потребления (on-site) или поставками со стороны (off-site). Усовершенствование методов заполнения цистерн (танков) и способов доставки свели к минимуму некоторый риск загрязнения, ранее свойственный привозному жидкому азоту. Следует также принять во внимание, что при производстве на месте потребления обычно используются испарители (газификаторы), которые могут работать на привозном жидком азоте или жидком азоте, производимом на месте. Поэтому, чтобы постоянно гарантировать качество газа, привозной жидкий азот должен соответствовать качеству газа, которое достигается производством на месте потребления.
Объем
На выбор способа снабжения азотом заметно влияют объемы его потребления, однако другие факторы могут иметь еще большее значение. Если объемы потребления невелики (например, менее 500 м7час), то это обычно исключает создание производства азота на месте потребления. По мере того как требуемые объемы растут, вариант производства азота на месте потребления становится намного более привлекательным в экономическом отношении. Могут существовать и другие условия, которые позволят отдать предпочтение «местному» варианту, например, возможность поставки местного сверхчистого жидкого азота.
Бесперебойность поставок
Полупроводниковая промышленность преимущественно полагается на специализированные газовые компании, чтобы обеспечить свои потребности в азоте прямым соглашением на поставку. Имеется несколько типов контракта, зависящих от местных ограничений и индивидуального предпочтения. Два фактора вносят вклад в общую стоимость обеспечения азотом: затраты на аренду оборудования, размещаемого на месте потребления, и стоимость хранилища для жидкого азота. Производство на месте потребления требует высоких капиталовложений и эксплуатационных затрат на обслуживание, и, следовательно, приводит к более высокой себестоимости. Энергозатраты для этого варианта также выше, поскольку полупроводниковая компания обычно должна сама обеспечивать производство азота энергией и охлаждающей водой. С другой стороны, при собственном производстве требуемое количество привозного жидкого азота минимально, и потребность в нем возникает главным образом только во время профилактических остановок. Пока размер завода, который должен быть установлен для стороннего производства, значительно меньше, и это приводит к более низкой себестоимости, весь применяемый азот следует получать из привозного жидкого азота. Стоимость его закупки будет зависеть от затрат газовой компании, которые включают стоимость транспортировки, затраты на энергию и их собственные издержки для обеспечения требуемых объемов поставок.
Существует большое количество факторов, которые должны быть учтены при проектировании финишного контура; основные элементы установки очистки и их анализ рассмотрены выше. Выбор системы трубопроводов является решающим, так как вся хорошо сделанная ранее работа может быть загублена плохо спроектированной распределительной системой. Относительно легко можно изменить тип ОО-мембраны, ионообменной смолы или фильтра по сравнению с первоначальным выбором, однако такую роскошь в отношении распределительного контура нельзя себе позволить без тяжелых последствий для производственных установок, потребляющих очищенную воду.
Наиболее часто используемые материалы - это фторполимеры и, в частности, поливинилиденфторид (ПВДФ). Хотя на начальных этапах процесса очистки воды наиболее часто используются традиционные пластмассы типа подивинилхлорида (ПВХ) и акрилонитрилбутадиенстирола (ABS), для финишного контура предпочтителен ПВДФ из-за присущих ему преимуществ, несмотря на более высокую стоимость.
Эти преимущества сводятся к тому, что ПВДФ:
• поддается сварке плавлением и не требует клея;
• обеспечивает минимальный рост бактерий;
• устойчив к стерилизующим агентам, таким как пероксид водорода;
• является инертным материалом, который не выделяет в систему органические или ионные загрязнения (после первоначальной отмывки).
И хотя сам ПВДФ не выделяет питательных веществ, способствующих росту бактерий, очень важно обеспечить непрерывный поток воды в системе водоподготовки,поскольку бактерии с большей вероятностью будут расти в статических условиях. Система должна быть спроектирована так, чтобы исключить образование застойных зон в трубопроводах и оборудовании в целом и обеспечить скорость движения воды в любой части установки не менее 1 м/с. Теоретически это возможно, однако на практике ее не так легко обеспечить, особенно для ответвлений трубопроводов. Оборудование для очистки жидкостей не требует постоянного поступления воды, так как эти процессы по своей сути являются циклическими, и необходимо предусматривать линии рециркуляции для каждого случая с тем, чтобы гарантировать непрерывность потока воды в системе очистки. Неиспользованная вода возвращается в начало финишного контура установки, обычно в емкость-хранилище высокочистой воды, где она смешивается и циркулирует со свежепоступившей водой.
Для завода по обработке пластин с уже спроектированной и действующей системой водообеспечения часто требуются изменения технологии очистки воды, чтобы удовлетворить требованиям бизнеса или для внедрения нового оборудования, имеющего совершенно другие рабочие характеристики. В таких случаях кардинальное изменение проекта системы может оказаться невозможным и вполне допустимы компромиссные решения.
На рис. 11.10 показана предлагаемая схема установки получения сверхчистой воды. Некоторые стадии могут быть опущены, существуют также и другие установки, которые должны быть добавлены, чтобы справиться со специфичными загрязнениями. Однако если вы посетите современную установку получения сверхчистой воды, весьма вероятно, что вы найдете нечто очень похожее на то, что представлено на рис. 11.10.